穿越2018从造光刻机开始

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第48章 攻克镜片(五)

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第二大清早,白学礼办公室,廖锡昌,白学礼,路阳手中各自拿着一本几十页的资料,这是路阳花一晚上时间整理出来的新镜片制造工艺。

白学礼花半时粗略扫了一遍,“行了,专利上应该没什么问题,只是,廖老,离子束抛光方面还是得23所的两位教授把关,至于光学、机械、材料、测控、热仿真方面,资料中都给了细致的优化方案,我们刚建好的加工线估计得大肆改动,至少得花一周时间才能完成。”

“明白了,通知开会吧,由我来安排!老白,这次得你来扛旗了!”

没过多久,23所、大连光源、光机所所有参与项目的人被叫到会议室,大部分人还以为这是要开庆功大会。

廖锡昌作为整个项目的最高指挥,加上他在华国的地位,仅仅是冷哼一声,会议室20多号人立刻都安静下来。

“同志们,一个月时间,我们完成了前人不可能完成的事情,让华国在镜片制造领域、光学领域、抛光工艺上都取得了飞跃式的进步,但我们不能自满。”

“光刻机是一整套极其精密的系统性设备,哪怕是数点后面的几个数字,都可能影响最终的成品。”

柴文政与丁冉听到这里便明白,哪怕是到了0.022的光滑度,也没能让廖老满意,对光刻机的严苛要求再次加深理解。

“自满是做科学研究的大忌,从开始那白教授就一直在做优化方案,上周实验取得的成果,被他快速转化,终于完成了整个加工线的优化方案,可以是我们现在设计方案的2.0版本,大家都看下吧。”

完让人把印影机密内容”的文件发放下去。

众人声议论起来,刚刚建好的加工线马上又要改版,这是从未有发生过的事,但一想到这个项目本来就够特殊的,加上之前做的几次政审筛查与保密培训,拿到文件后都开始翻看起来。

柴文政直接翻到抛光工艺部分,才看了几页,忽然站了起来,看向白学礼,满脸不可思议的表情,这份优化方案甚至超过了之前的蔡司0.02纳米离子抛光技术,这么久了他自然也了解那份资料的技术来自于蔡司。

“白教授,哎,您有这技术,我们这个月也不会白忙活了。”

廖老立刻道:“柴文政,注意你的用词,这个月是必须经历的,白所长也正是因为这次的加工才验证了他的方案。”

丁冉轻轻拉了下柴文政的衣服,直接称呼他的名字,白教授也换成了白所长,这句话已经是明面上的不满了。

“对不起,廖老,白教授,是我冲动了,我一点抱怨的意思也没有,只是感慨于白教授的这份优化方案,尤其是粒子抛光工艺方面,不仅规避掉了原资料的专利问题,同时……”

柴文政的声音变得越来越激动,失去了平时的文雅气质,这还是他第一次组织语言跟不上发言。

“我这样解释吧,这项技术就算拿诺贝尔奖都不为过,而且已经无限接近于人类在微观层面的操作极限了,我想不出还有其他的任何方式能超越这项技术。”

预先知情的三人完全没想到,系统优化的技术在柴文政这边评价如此之高。

白学礼脸上表情变化不断,精彩万分,一方面因为在抛光工艺方面,资料获得了专业的认可,另一方面就是,这根本不是他的成果,如今被廖老拉出来顶缸,美其名曰扛大旗。

作为一个搞研发的,诺贝尔奖谁不想获得啊,但他的良心不允许他这么做。

“柴教授,坐下坐下,谢谢你对这份方案的认可,但涉及到国家机密,什么诺奖之类的以后别再提了,我知道各位对于刚建好还不到两的加工线改建,或多或少都有些意见,但EUV光刻机的特殊性大家都知道,哪怕是一丝可能,我们都要紧紧把握!”

柴文政坐下后,丁冉低声在他耳边道:“文政,你太冲动了,这项技术不仅仅是光刻机可以使用,23所的在离子束领域的各方面应用,都会获得突破,现在一定要全力配合专项组这边,早日把光刻机做出来,我们才能把技术带回去。”

他们都签署了最高级别的保密协议,在光刻机制造出来前,所有的技术都不能外流,原单位都不校

在场众人都被白学礼的胸怀感动,连诺奖都毫不在乎,一心为国,多少人内心暗自惭愧,对白教授的优化方案不再怀疑,干就是了。

这个插曲并没影响改进加工线的推进,一时间,在白学礼组织下,新的设计优化方案确定,各部门快速响应,好在主要优化的是软件与工艺流程方面,设备除了离子抛光装置需要改进外,其他的基本都是微调整。

当晚上季一楠居然从申城赶往长春,见面第一句话就是让路阳好好休息,明要去做次全面的体检。

交代完便拖着行李回她的房间,留下路阳一脸懵逼。

没多久又接到周怀义电话,

“路阳,你没事吧!”

路阳知道应该是廖老把那他头痛的事汇报上去了。

“周哥,没事,只是头痛而已,应该问题不大!”

“有效的沟通才能更好的解决问题,这是你的,所以你不应该隐瞒,我跟一楠都把你当成自己的家人,并不是利用的工具,你实话跟我,是不是跟那方面有关。”

路阳有些感动,“现在还没有直接的证据证明,只是有可能而已,确实每次想起一些事,头都会非常痛,但程度并没有第一次那种严重,另外,我还发觉了一种新的可能。”

路阳把这边加工线的事解释了一遍。

“你是,当技术构成各占一半的情况下,会获得新的技术优化资料!”

路阳笑着道:“周哥,总结得很到位,就是这个意思,我准备回申城,也许用这个办法,我们可以提前把45纳米甚至28纳米的光刻机生产线做出来,一步到位!”

“回来可以,这边医院水平比长春好些,先做次全面的检查,结果出来了再考虑其他的事,记住了,路阳,你不是工具!”

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